报告核心观点 - 东兴证券研究所推荐十月金股，涵盖国轩高科、科达利、金山办公等十只股票 [2] - 铯铷行业呈现上游资源强垄断性寡头特征，全球可采资源稀少，供给刚性，中矿资源全球市占率达50%，拥有极强议价权，推荐关注中矿资源与金银河 [5][6][7][8] - 沪硅产业作为国内半导体硅片龙头，300mm硅片产能位居国内第一梯队，技术持续突破，但短期业绩仍受行业复苏缓慢及价格压力影响而承压 [12][13][14] 经济与行业要闻 - 北交所自10月9日起为存量股票启用新证券代码920，标志着其全面进入独立代码时代 [2] - 2025年上半年电池产业链上市公司营收2947亿元，同比增长8%，毛利率22%，其中宁德时代毛利率达25%，锂电池环节分走产业链七成利润 [2] - 2025年国庆档电影总票房突破17亿元，产业向多元消费生态转型，新技术如LED虚拟拍摄与AI面部捕捉得到应用 [2] - 截至2025年9月末，中国外汇储备规模为33387亿美元，环比上升165亿美元，升幅0.5%，官方黄金储备为7406万盎司，环比增加4万盎司，央行已连续11个月增持黄金 [2] - 商务部加强两用物项及稀土相关技术出口管制，对向境外军事用户等出口申请原则上不予许可，对用于先进半导体研发等用途的出口申请逐案审批 [2] - 2025年国庆中秋假期全社会跨区域人员流动量累计24.33亿人次，日均3.04亿人次，同比增长6.3%，创历史新高 [2] - 国庆中秋假期全国边检机关共计保障1634.3万人次中外人员出入境，日均204.3万人次，同比增长11.5%，其中入境外国人75.1万人次，适用免签政策入境53.5万人次，同比增长46.8% [2] - 工信部与国家标准化管理委员会印发《云计算综合标准化体系建设指南(2025版)》，目标到2027年新制定云计算国家标准和行业标准30项以上 [4] - 国家发改委公布2026年粮食进口关税配额总量：小麦963.6万吨、玉米720万吨、大米532万吨 [4] - 美联储9月会议纪要显示，多数官员认为今年有必要进一步降息，但在利率路径上存在分歧 [4] 铯铷行业深度分析 - 铯铷资源稀有，物理化学性质独特，下游应用广泛，包括电子器件、量子通信、原子钟、离子推进发动机等高技术领域 [5] - 全球铯资源储量高度集中，加拿大Tanco矿山为全球在产唯一以铯榴石为主矿石的矿山，2020年全球伟晶岩型铯矿储量约22万吨 [6] - 全球铷储量集中度高，基本无独立矿床，主要作为锂、铯开采副产品，据USGS2020年数据全球铷储量为10.2万吨 [6] - 全球铯铷盐供给刚性，2024年全球产量1921吨，较2021年高点下降13.9%，中矿资源市占率提升至约50% [7] - 铯铷上游生产商议价权极强，2020-2024年国际金属铷价格从775元/克增至900元/克，中矿资源铯铷产品价格年平均涨幅达24% [8] - 金银河公司通过自研低温硫酸法锂云母提锂技术，可提取副产品铷铯盐，以其1万吨碳酸锂年产能测算，达产后或可年产铷盐1200-1700吨、铯盐300-450吨 [10] - 企业扩产计划预计推动全球铯供给从2024年1881吨升至2027年2811吨，CAGR达14%，全球铷供给从40吨升至1740吨 [11] 重点公司跟踪（沪硅产业） - 沪硅产业2025年上半年营业收入16.97亿元，同比增长8.16%，第二季度营收8.96亿元，环比增长11.75%，但归母净利润仍亏损3.67亿元 [12][13] - 公司300mm硅片合计产能已达75万片/月，规模国内第一梯队，规划产能将达120万片/月，累计客户数量超100家 [14] - 公司是国内唯一具备300mm硅片衬底和300mmSOI产品技术全自主知识产权的企业，300mmSOI产品已开始向多客户批量送样 [14] - 200mm半导体硅片平均售价因产品结构变化出现小幅回升，但市场复苏仍较为缓慢 [15]

投资评级 - 首次覆盖，予以“买入”评级 [4] 核心观点 - 报告认为公司靶材基本盘稳健，半导体零部件业务加速放量，有望打造第二增长曲线 [1][3][4] - 公司净利率提升显著，未来随着半导体零部件产能利用率提升，毛利率有望得到修复 [2] - 公司拟定向增发加码静电吸盘和超高纯金属溅射靶材项目，助力半导体产业链自主可控并加速全球化布局 [4] 财务表现与预测 - 2025年上半年公司实现净利率11.12%，同比提升3.29个百分点；毛利率为29.72%，同比小幅下降1.28个百分点 [2] - 2025年上半年公司超高纯金属溅射靶材业务营收13.25亿元，同比增长23.91%，毛利率33.26%，同比提升2.93个百分点 [3] - 2025年上半年公司半导体精密零部件业务营收4.59亿元，同比增长15.12% [3] - 预测公司2025-2027年归母净利润分别为5.38亿元、6.84亿元、8.63亿元，对应市盈率分别为50.23倍、39.51倍、31.33倍 [4] - 预测公司2025-2027年营业收入增长率分别为28.99%、27.21%、26.44% [5] 业务进展 - 公司超高纯金属溅射靶材和半导体精密零部件产品已批量供货给拥有三维集成和键合技术的半导体设备制造企业及芯片制造企业 [1] - 公司在全球超高纯金属溅射靶材市场占有率不断提升，高纯300mm硅靶实现稳定批量供货，黄湖靶材工厂主体工程顺利，设备正逐步入驻调试 [3] - 公司半导体精密零部件产品线迅速拓展，新品加速放量，实现了多品类产品在半导体核心工艺环节的应用，多个生产基地陆续完成建设并投产 [3] - 公司拟通过定向增发募集资金不超过19.48亿元，用于年产5,100个集成电路设备用静电吸盘产业化项目和年产12,300个超高纯金属溅射靶材产业化项目（韩国基地） [4] 市场表现 - 截至2025年9月30日，公司股票收盘价为101.90元，总市值为270.36亿元 [6] - 公司股票近1个月、3个月、12个月的绝对收益分别为26%、38%、71%，相对收益分别为23%、20%、56% [9]

公司核心业务与产品 - 公司聚焦于超大规模集成电路制造用超高纯材料及溅射靶材领域 [1] - 公司产品包括超高纯铝、钛、钽、铜、锰、钴等全系列先端靶材 [1] - 公司产品达到全球领先工艺并大量出口，是众多国际知名晶圆制造企业的主要供应商 [1] 技术实力与产业地位 - 公司突破一系列核心技术，建立起拥有完整自主知识产权、基于国产设备的生产基地 [1] - 公司实现了全系列先端靶材的产业化，彻底改变了我国超高纯材料依赖进口的局面 [1] - 公司把依赖进口的“卡脖子”短板做成了参与国际竞争的优势产业 [1] 研发项目与产业贡献 - 公司承担了多项国家战略发展科研及产业化项目，包括国家02重大专项、国家863重大专项、发改委高技术产业化项目等 [1] - 公司推动了关键材料的国产化，确保了我国芯片产业对超高纯材料的需求 [1] - 公司近年积极布局半导体精密零部件领域，研发生产品类超过4万种，形成了全品类零部件覆盖 [1]

文章核心观点 - 半导体溅射靶材是芯片制造中不可或缺的关键基础材料，其战略价值和投资潜力被低估，当前正迎来国产替代的历史性机遇 [2] - 全球溅射靶材市场由美日巨头寡头垄断，但国内企业在技术突破和市场份额方面进展迅速，国产替代空间巨大 [60][64] - 半导体技术向更小制程（如3nm）和新兴应用（如AI、5G）发展，持续驱动对靶材更高纯度（如7N）和性能的需求，为行业增长和技术创新提供动力 [54][68] 行业概况：什么是溅射靶材？ - 溅射靶材是用于物理气相沉积（PVD）工艺的“源头活水”，通过磁控溅射技术形成纳米至微米级的功能薄膜，是实现芯片导电、信号传输和互连的核心耗材 [6][8] - 靶材核心特性包括超高纯度（通常在99.9995%以上，即5N5级别）、高精度尺寸和高微观结构一致性，以满足半导体芯片的严苛要求 [8] - 靶材主要应用于晶圆制造和封装测试环节，是支撑7nm以下先进制程的关键材料之一，薄膜均匀度误差需控制在极小范围 [8][9] 靶材的分类 - 按化学成分可分为金属靶材（如纯金属铝、钛、铜、钽）、合金靶材（如镍铬合金、镍钴合金）和陶瓷化合物靶材（如氧化物、硅化物） [11] - 铝靶用于110nm以上制程的导电层，铜靶用于110nm以下先进制程的互连层，钽靶材用于阻挡层，合金靶材用于优化薄膜电阻率和热稳定性 [11] - 随着制程微缩，对靶材要求呈指数级提升，14nm制程所需靶材纯度通常要达到99.9999%（6N）以上，未来3nm及更先进制程要求近乎苛刻 [13] 产业链分析 - 上游涉及高纯度金属（如高纯铝、铜、钛）及生产设备（如高精度熔炼炉）供应，全球高纯金属产业集中在美国、日本，国内靶材大部分高纯原料依赖进口 [15][17] - 中游靶材制造是技术含量最高环节，涵盖熔炼、成型、加工、绑定等多道工序，对精度要求极高，尺寸误差需控制在微米级甚至纳米级 [18] - 下游应用集中在半导体芯片制造，用于形成金属互连层、阻挡层等关键结构，高性能计算、AI、5G通信等新兴领域持续拉动高质量靶材需求增长 [22][23] 溅射靶材技术分析 - 靶材制备技术主要包括熔炼铸造法（适用于金属及合金靶材）、粉末冶金法（适用于陶瓷和难熔金属靶材）和沉积法（如PVD/CVD，用于特殊靶材） [25][29][32] - 高纯材料提纯技术包括电解精炼法（适用于铜、镍）、区域熔炼法（纯度可达6N以上）和离子交换法（适用于稀土金属），直接决定靶材纯度和性能 [33][37][42] - 技术难点在于靶材纯度控制（3nm制程需7N纯度）、微观结构均匀性以及溅射薄膜的均匀性和一致性（尤其在12英寸晶圆上），突破方向包括开发新型提纯技术和优化靶材设计 [43][44][45] 市场情况 - 全球溅射靶材市场规模从2018年的821亿元增长至2022年的1,163亿元，年复合增长率为9.1%，预计到2027年将达1,945亿元，年复合增长率10.7% [47] - 中国半导体行业溅射靶材市场规模从2018年的16亿元增长到2022年的27亿元，年复合增长率14.4%，预计到2027年将达57亿元，年复合增长率15.8% [49] - 市场需求驱动因素包括半导体技术向更小制程创新、5G/AI/物联网等新兴应用领域崛起，以及全球产业向亚洲转移和国产替代加速 [54][56] 竞争格局 - 全球市场呈现寡头垄断格局，美日头部企业（JX日矿金属、霍尼韦尔、东曹、普莱克斯）占据全球市场份额的80%，其中JX日矿金属占比30% [60] - 国内企业如江丰电子、有研新材、阿石创等已成功进入国内外知名半导体厂商供应链，实现部分产品进口替代，但在高端靶材领域与国际巨头仍有差距 [64] - 国内企业的竞争路径是从技术壁垒相对较低的中游加工环节切入，逐步向技术壁垒最高的上游核心材料领域攻坚 [64] 未来发展趋势 - 技术创新趋势指向更高纯度与质量（如7N纯度）、新型材料研发（如钴、钌合金）以及与3D芯片封装、异构集成等先进制程匹配 [68] - 市场需求将受AI、物联网、自动驾驶等新兴应用领域持续拉动，同时产业转移与国产替代加速，国内靶材企业有望进一步提升市场份额 [69] - 产业整合趋势包括企业间并购与合作以提升技术实力，以及产业链垂直整合（向上游原材料和下游镀膜服务延伸）以增强竞争力和抗风险能力 [71] 国内外企业清单 - 国外主要企业包括全球龙头日本JX金属、老牌王者美国霍尼韦尔、在高纯钴/镍领域占统治地位的东曹，以及普莱克斯、世泰科、住友化学等 [79][80] - 国内龙头江丰电子已掌握超高纯金属溅射靶材核心技术，2024年营收36.05亿元（同比+28%），铜及铜合金靶材在头部代工厂市占率超20% [82] - 其他国内主要企业包括有研新材（开发新型钌基阻挡层靶材）、阿石创（钼靶材全球市占率约25%）、隆华科技、安泰科技、先导薄膜材料等 [84][86][88][91]

靶材行业概述 - 靶材是溅射镀膜工艺中用于制备薄膜的核心耗材，主要应用于半导体芯片、平板显示、太阳能电池和记录媒体等领域，对材料纯度和稳定性要求极高 [13] - 溅射靶材由靶坯和背板焊接而成，靶坯是核心轰击材料，背板主要起固定作用 [13] - 靶材制造工艺包括金属提纯、塑性变形、热处理和溅射应用等环节，技术门槛高，涉及高纯度控制（如半导体靶材要求6N级纯度）和晶粒取向调控 [27][28] - 全球靶材产业链呈金字塔分布，高纯金属供给和靶材制造环节由美日企业主导，溅射镀膜环节质量参差不齐，终端应用环节规模最大且劳动密集 [50][52] 全球靶材市场格局 - 2019年全球靶材市场规模约160亿美元，预计2020年达195.63亿美元，2013-2020年复合增速14.42% [40][58][59] - 全球靶材市场高度垄断，JX日矿金属、霍尼韦尔、东曹和普莱克斯四家企业合计占据80%市场份额，尤其在晶圆制造靶材领域垄断90%份额 [40][42] - JX日矿金属是全球芯片靶材龙头，市占率约30%，其铜靶纯度可达9N级，在平板显示靶材和磁记录靶材领域市占率分别达30%和60% [42][93][117] - 靶材下游应用中，平板显示靶材占比27%，记录媒体靶材占比30%，太阳能电池靶材占比29%，半导体靶材占比8% [58] 中国靶材市场空间 - 2020年中国靶材市场规模预计达337.38亿元，2013-2020年复合增速17.94% [74][75] - 中国靶材需求占全球30%以上，但本土厂商供给仅占国内市场的30%，且以中低端产品为主，高端靶材依赖进口 [40][74] - 国内头部企业靶材合计营收约30-40亿元，占国内总需求10%，国产替代空间巨大，政策扶持下有望实现十倍增长 [40][42] - 分领域看，平板显示靶材是中国最大应用市场，2020年规模约165.9亿元，复合增速22.80%；半导体靶材规模29.86亿元，复合增速17.95% [74][81][82] 细分应用领域分析 - 平板显示靶材：2020年全球规模52.03亿美元，中国规模165.9亿元，技术趋势向4N级高纯度、大尺寸和高溅射率发展 [40][66][81] - 半导体靶材：2020年全球规模15.67亿美元，中国规模29.86亿元，技术要求最高，需5N级以上纯度靶材用于晶圆制造和封装环节 [40][67][82] - 太阳能电池靶材：2020年全球规模57.13亿美元，中国规模37.54亿元，受益薄膜太阳能电池需求增长，复合增速超25% [68][83] - ITO靶材：在显示靶材中占比近50%，日韩企业垄断高端市场，国内企业正突破常压烧结法等关键技术 [40][113] 产业链与竞争态势 - 高纯金属是靶材核心原材料，全球集中在美国、日本等国家，中国大部分高纯原料依赖进口，仅铜铁铝可部分自给 [40][52] - 全球面板和半导体产业向中国大陆转移，带动靶材需求快速增长，国内企业如江丰电子、隆华科技等在细分领域实现突破 [40][54] - 竞争态势从高度垄断转向政策扶持下的单点突破，国内企业在平板显示和半导体靶材领域加速替代进口 [40][82]

报告核心观点 报告的核心观点聚焦于政策驱动下的产业发展机遇以及特定公司的成长潜力 政策层面强调通过大规模资金投入和消费补贴推动人工智能、新能源等战略产业发展 公司层面重点分析了中矿资源依托矿产资源全产业链布局打开多重成长曲线 精智达在半导体测试设备领域的快速成长 以及高速公路板块因股价回调显现的高股息配置价值 [2][6][13][21] 经济与政策要闻 - 国家发展改革委推出总规模5000亿元的新型政策性金融工具 全部用于补充项目资本金 并重点支持国产算力、模型、语料库等"两重"建设 通过发放"人工智能券"补贴企业算力支出 [2] - 政策将从供需两端推动智能终端和智能体普及 围绕教育、医疗、养老等场景打造示范应用 并以消费补贴加速落地 [2] - 内蒙古库布其沙漠新能源大基地全面开工 项目总投资988亿元 规划建设光伏800万千瓦、风电400万千瓦 配套煤电400万千瓦、新型储能500万千瓦时 预计2027年投运 [2] - 2025年1-8月全国国有企业营业总收入539620.1亿元 同比增长0.2% 利润总额27937.2亿元 同比下降2.7% [2] - 文化和旅游部数据显示 2024年文化产业实现营业收入19.14万亿元 比2020年增长37.7% 规上文化企业达7.8万家 比2020年增加1.3万家 [3] 重要公司动态 - 富临精工拟与宁德时代共同对子公司江西升华增资扩股 预计构成重大资产重组 [5] - 华友钴业子公司与LGES签订长期供应协议 约定于2026年至2030年期间供应三元前驱体产品合计约7.6万吨 三元正极材料产品合计约8.8万吨 [5] - 中伟股份与厦钨新能源签署战略合作框架协议 合作围绕消费电子、动力电池、低空经济、AI及机器人等新兴领域的关键电池材料供应链展开 [5] 中矿资源深度分析 - 公司已成长为拥有矿产资源全产业链的矿业集团 在海内外拥有各类矿业权73处 主营业务分为锂板块（25H1营收占比40%）、铯铷板块（25H1营收占比22%）和铜锗等多金属板块 [6][7] - 公司在赞比亚与纳米比亚拥有六大矿权 截至25H1合计拥有铜金属量98.28万吨 锗金属量746.21吨 镓金属量409.62吨等资源 [8] - 赞比亚Kitumba铜矿项目设计阴极铜年产能6万吨 预计2026年7月投产 2030年左右产能可提升至约10万吨 项目获得十年免税特权 生产成本有望低于5500美元/吨 [9][10] - 纳米比亚Tsumeb冶炼厂多金属综合回收项目设计年产锗锭33吨、工业镓11吨、锌锭1.09万吨 完全达产后年产值可达约12.4亿元 资源可供生产年限分别为23/37/19年 [11] 精智达公司分析 - 公司2025年上半年实现营业收入4.44亿元 同比上升22.68% 归母净利润3058.7万元 同比下降19.94% [13] - 半导体测试设备领域业务收入3.13亿元 同比增长376.52% 首次取得超3亿元重大订单 涵盖FT测试机等核心产品 [14] - 研发支出6099.30万元 同比增长16.28% 自主研发的高分辨率成像式色度仪器获得订单 FT测试机及MEMS探针卡等产品已通过验证并取得订单 [15][16] - 公司超募资金近3亿元投入先进封装设备专项计划 截至报告期末已投入2910.76万元 以完善测试-封装协同解决方案能力 [17] 高速公路行业观点 - 高速公路板块经历深度调整后 股息率显著提升 部分公司预期股息率已回升至5%以上 与国债收益率的差值回到23年下半年的水平 具备较强的绝对收益配置价值 [21][22] - 高速公路A股对H股的溢价率已降至23年以来较低水平 使得A股高速公路股的性价比重新回到较高水平 [21] - 建议重点关注皖通高速、粤高速A、招商公路等分红比例较高的个股 若对分红金额稳定性有较高要求可关注宁沪高速 [23]

公司股价与交易表现 - 9月30日公司股价下跌5.02% 报收101.72元/股 [1] - 当日成交金额为26.22亿元 换手率达到11.37% [1] - 公司总市值为269.88亿元 [1] 公司业务概况 - 公司主营业务为高纯溅射靶材的研发、生产和销售以及金属材料制造 [1] - 超高纯靶材业务收入占比最高 为63.26% [1] - 精密零部件业务收入占比为21.90% 其他业务收入占比为14.84% [1] 基金持仓情况 - 华夏创业板指数增强A基金二季度持有公司股票5.66万股 占基金净值比例2.86% 为第七大重仓股 [2] - 基于当日股价下跌 测算该基金持仓单日浮亏约30.45万元 [2] - 该基金最新规模为5145.35万元 今年以来收益率为49.2% [2]

公司融资活动 - 2025年9月公司发布定增预案修订稿，拟募资不超过19.48亿元，用于半导体精密零部件与高端靶材产业化项目[1] - 2025年7月公司抛出不超过19.48亿元的定增预案[1] - 本次定增是公司近三年来的第二次大规模融资，上一次在2022年9月以85元/股价格募资16.49亿元[1][2] 募投项目细节 - 本次定增募集资金主要投向四个项目：静电吸盘产业化、超高纯金属溅射靶材产业化、上海研发及技术服务中心以及补充流动资金[1] - 其中静电吸盘项目拟投入9.98亿元，占总募资额19.48亿元的51.23%[1] - 公司计划将5.8亿元募资用于补充流动资金及偿还借款[1] 股东减持情况 - 2025年4月，公司实控人一致行动人宁波江阁和宁波宏德减持260万股，套现约1.9亿元[1] - 2025年1月23日至4月22日，股东宁波拜耳克管理咨询有限公司减持260万股，套现约1.8亿元[1] - 股东减持行为与公司融资活动在时间上接近，引发市场对资本运作连续性和透明性的质疑[1] 公司经营业绩 - 公司是国内半导体溅射靶材龙头企业，主营业务包括超高纯靶材和精密零部件[2] - 2025年中报显示，公司上半年实现营业总收入20.95亿元，同比增长28.71%[2] - 2025年上半年归母净利润为2.53亿元，同比增长56.79%[2] 市场质疑焦点 - 有投资者质疑公司2022年定增价85元与当前股价69元存在差异，并对前次定增资金使用去向提出疑问[1] - 市场关注公司是否真的需要大规模募资，尤其对将5.8亿元用于补充流动资金及偿还借款的计划存在疑问[1]

光刻机行业动态 - 上海微电子首次公开亮相极紫外（EUV）投影微场曝光装置并披露部分技术内容 [3] - 光刻机概念在二级市场热度空前 Wind光刻机指数近一年涨幅近130% 9月24日创下阶段新高 [3] - 光刻机概念龙头张江高科涨停 股价再创历史新高 江丰电子涨超17% 联合化学 先锋精科 洪田股份 富创精密涨超5% [3] 国产光刻机产业链布局 - 张江高科通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资上海微电子22345万元 持有10.779%股权 [5] - 江丰电子为光刻工艺前道工序提供关键材料 后道工序提供精密零部件 其研发的28nm以下节点光刻机核心冷却部件已进入量产阶段 [5] - 上海微电子为国产光刻机绝对龙头 出货量占国内市场份额超过80% 产品涉及ArF KrF和i-line领域 具备90nm及以下芯片制造能力 [9] - 光刻机国产化率仅2.5% 中国大陆市场主要依赖荷兰 日本等地进口 出口管制下供给不确定性上升 [5][9] 全球光刻机市场格局 - 阿斯麦（ASML）占据全球八成以上市场 垄断最高端EUV市场 2025年二季度净销售额77亿欧元同比增长23% 净利润23亿欧元同比增长45% [7] - 当季ASML光刻机系统销售收入56亿欧元 其中EUV销售额27亿欧元 非EUV销售额29亿欧元 售出EUV 11台 DUV 64台 [7] - 日本光刻机厂商尼康 佳能市场份额仅个位数 出货以成熟制程设备为主 佳能聚焦i-line领域 尼康除EUV外均有涉猎 [8] 技术突破与产业链协同 - 国内光刻机产业链包括上游设备及配套材料 中游系统集成和生产 下游应用三大环节 [11] - 科益虹源研发248nm准分子激光器 干式193nm准分子激光器 福晶科技研发KBBF晶体 中科院研发40瓦干式准分子激光光源 [13] - 国望光学研发90nm节点ArF光刻机曝光光学系统 110nm节点KrF光刻机曝光光学系统 中科科仪研发直线式劳埃透镜镀膜装置 纳米聚焦镜镀膜装置 [14] - 波长光电 捷众科技 国林科技 南京化纤等公司披露在光刻机或半导体领域的关联布局 但营收规模较小或处于初期阶段 [14][15] 发展挑战与战略路径 - 国产光刻机与国际领先水平存在技术限制 高端技术受制于国外供应商 需要上下游同心协力攻坚 [9][11] - 光刻机作为高壁垒 重资本 高风险行业 发展有赖"举国体制"之力 需要国家牵头 科研院所与关键公司参与实现供应链自主可控 [15] - 上海微电子和几大院所的科技研发成果为国内光刻机发展风向标 值得长期关注 [15]

行业动态 - 半导体制造核心环节光刻机赛道近期走热 国产产业链相关标的在二级市场热度空前 A股光刻机产业链标的波动显著[1] - 上海微电子在工博会上首次公开亮相极紫外（EUV）投影微场曝光装置 并披露部分技术内容[1] - 行业脉动传导至二级市场 叠加半导体行业涨价预期催化 光刻机概念涨势如虹 张江高科涨停创历史新高 江丰电子涨超17% 多只个股涨超5%[1] 公司投资与业务 - 张江高科通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资上海微电子22345万元 持有10.779%股权[1] - 江丰电子为光刻工艺前道工序提供关键材料 并为后道工序设备提供精密零部件 其研发的"半导体用多层薄壁钛合金扩散焊接项目"用于28nm以下节点光刻机核心冷却部件 已进入量产阶段[1][2] 市场格局 - 中国大陆光刻机市场空间广阔 但主要依赖荷兰、日本等地进口 出口管制下供给不确定性上升 自主可控需求迫切[2] - 全球光刻机市场以中低端KrF、i-line为主 ArFi、ArF、EUV占比较小 EUV是重要发展方向[3] - ASML独占鳌头 占据全球八成以上市场 覆盖全部级别光刻机 垄断最高端EUV市场 2025年二季度净销售额77亿欧元同比增长23% 净利润23亿欧元同比增长45% 光刻机系统销售收入56亿欧元（EUV 27亿欧元 非EUV 29亿欧元） 当季售出EUV 11台、DUV 64台[3] - 日本尼康、佳能市场份额仅个位数 尼康勉守二线 佳能位居第三 两者出货以成熟制程设备为主[4] 国产化进展 - 光刻机国产化率仅2.5% 上海微电子为国产绝对龙头 出货量占国内市场份额超过80% 产品涉及ArF、KrF和i-line领域 具备90nm及以下芯片制造能力[5] - 上海微电子对标佳能 用于成熟制程 浸没式产品暂未推出 已量产光刻机包括SSX600、SSX500、SSB300、SSB200等系列[5] - SSX600系列采用四倍缩小倍率投影物镜、工艺自适应调焦调平技术及高速高精自减振六自由度工件台/掩膜台技术[6] - 地缘政治因素导致中国大陆无法购买ASML的EUV 制程落后于台积电 市场对国产突破期望升温[7] - 中国光刻机制造商面临技术挑战和供应链问题 产能和产量受限 需上下游同心协力攻坚[7] 产业链布局 - 国内光刻机产业链包括上游设备及配套材料、中游系统集成和生产、下游应用三大环节[7] - 技术积累较深或已进入ASML/上海微电子供应链的厂商包括：芯碁微装、富创精密、炬光科技、赛微电子、波长光电、奥普光电、腾景科技、福晶科技、茂莱光学、电科数字、新莱应材、美埃科技、蓝英装备、同飞股份、海立股份、东方嘉盛、上海微电子、华卓精科等[8] - 我国在光刻机各细分技术领域均有储备：科益虹源研发248nm/193nm准分子激光器 福晶科技研发KBBF晶体 中科院研发40瓦干式准分子激光光源 国望光学研发90nm节点ArF/110nm节点KrF曝光光学系统 中科科仪研发透镜镀膜装置[9] 上市公司动态 - 国林科技电子级超纯臭氧气体发生器和半导体级高浓度臭氧水系统设备部分型号已取得小批量订单 占主营业务收入比重较小[9] - 南京化纤通过治理结构调整对南京工艺实施有效管控 南京工艺为光刻机、刻蚀机、封装设备及晶圆搬运提供配套[10] - 波长光电主营光学元件、组件及系统方案 部分产品可应用于半导体设备 但目前半导体领域营收规模较小[10] - 捷众科技客户浙江启尔机电为光刻机提供超洁净流体处理设备[10] 发展路径 - 单点技术突破和单个公司研发难以打开局面 需借鉴ASML与上下游产业链紧密合作、产学研深入发展的模式[11] - 光刻机作为高壁垒、重资本、高风险行业 发展有赖"举国体制"之力 需国家牵头、科研院所与关键公司参与实现供应链自主可控[11] - 上海微电子和几大院所的科技研发成果是国内光刻机发展风向标 值得长期关注[11]