报告公司投资评级 - 维持“买入”评级，当前价格87.70元，合理价值91.60元，前次评级为买入 [6][19] 报告核心观点 - 微导纳米受光伏行业下行周期影响，整体业绩短期承压，但半导体板块已成为公司新的增长极 [1][2] - 薄膜沉积高端工艺持续突破，从ALD扩展到CVD领域，多项设备已实现产业化应用或进入客户端验证 [2][12] 财务表现总结 - 2025年实现营收26.3亿元，同比-2.5%；归母净利润2.2亿元，同比-3.2% [1] - 25Q4营收9.1亿元，同比-21.1%；归母净利润-0.3亿元，同比-138.3% [1] - 26Q1营收4.8亿元，同比-5.5%；归母净利润0.2亿元，同比-75.0% [1] - 2025年毛利率32.7%，同比-7.3pct；净利率8.33%，同比-0.1pct [1] - 26Q1毛利率32.8%，同比-3.4pct；净利率4.4%，同比-12.1pct [1] 分业务总结 光伏设备业务 - 2025年光伏设备营收15.9亿元，同比-30.5%，收入占比60.4% [2][11] - 2024年该业务收入22.9亿元，同比+52.9% [11] - 公司ALD产品连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一 [11] - 持续优化XBC、HJT、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术 [11] - 预估26-28年收入增速为-30%/-25%/-15%，毛利率分别为35%/34%/33% [11] 半导体设备业务 - 2025年半导体设备营收8.8亿元，同比+169.1%，收入占比从2024年的12.1%提升至33.5% [2] - 2024年该业务收入3.3亿元，同比+168.4% [12] - 2025年1-9月半导体领域新增订单约14.83亿元，同比增长97.26% [12] - ALD设备已广泛应用于DRAM、3D NAND、新型存储器等存储领域，均已实现产业化应用 [2][12] - 高温CVD设备已取得客户批量验收并持续获得批量订单 [2][12] - 多种硬掩模及介质材料CVD设备已导入客户端验证 [2][12] - 用于TSV、高密度互联等先进封装工艺的ALD和CVD设备已在部分先进封装客户端验证 [2][12] - 预估26-28年收入增速为100%/70%/30%，毛利率分别为20%/23%/27% [12] 配套产品及服务业务 - 2024-2025年收入分别为0.72亿元和1.44亿元，同比+43.5%/+99.5% [16] - 预估26-28年收入增速均为30%，毛利率维持在65% [13] 其他业务 - 2024-2025年收入分别为0.10亿元和0.17亿元，同比+0.7%/+69.2% [16] - 预估26-28年收入增速均为30%，毛利率维持在60% [13] 盈利预测与估值 - 预计2026-2028年营业收入为30.85/41.03/49.58亿元 [3][19] - 预计2026-2028年归母净利润为3.52/5.32/7.52亿元 [3][19] - 预计2026-2028年EPS分别为0.76/1.15/1.63元/股 [5] - 给予26年120倍PE估值，对应合理价值91.60元/股 [3][19] - 选取迈为股份、捷佳伟创、帝尔激光、北方华创、中微公司、拓荆科技、精测电子作为可比公司 [16][17][18] 期间费用率预测 - 2024-2025年期间费用率分别为20.3%和19.6% [14] - 预计26-28年期间费用率分别为16.6%/15.2%/15.0% [15]