报告公司投资评级 - 首次覆盖给予买入评级，根据可比公司25年42倍PE，对应目标价为136.08元 [2][141] 报告的核心观点 - 报告研究的具体公司是国内半导体清洗和电镀设备龙头，业绩增长稳定，预计2025年营收同比增长约16%到26% [9] - 半导体设备迭代升级是产业发展重要驱动力，高端设备国产化突破是关键，中国半导体产业自主率预计2027年达26.6% [9] - 报告研究的具体公司在清洗设备领域竞争优势持续提升，可适用于28nm及以下制程，未来清洗工艺有望覆盖超95%应用 [9] - 报告研究的具体公司平台化布局逐步成型，六大系列产品线打开新天花板，综合竞争力有望提升 [9] 根据相关目录分别进行总结 1 半导体设备领域龙头，业绩增长持续强劲 1.1 半导体设备多领域布局，产业经验积累深厚 - 报告研究的具体公司成立于2005年，是具备世界先进技术的半导体设备制造商，业务布局逐步拓展，2024年申请专利比上年增长89.63% [19][20] - 公司战略布局分三个阶段，2024年后进入平台化发展新阶段，围绕六大系列产品研发及迭代 [22][23] - 公司主要产品有多种半导体设备，三大业务整体稳定，清洗设备是核心业务，其他业务有望成营收驱动 [24] - 公司股权结构集中稳定，董事长HUI WANG为实控人，为核心技术研发提供保障 [28][29] 1.2 公司业绩持续高增，盈利能力提升 - 公司营收高速增长，2024年营收同比增长49%，2020 - 2024年复合增长率达54%，25Q1利润大增 [31] - 公司盈利能力较强，22 - 24年毛利率约50%，净利率超20%，随着产品提升，盈利能力持续提升 [31] - 公司重视研发，研发费用增加，销售费用率下降，管理费用率波动，市场口碑好，客户资源丰富 [33][36] - 公司供应链风险低，前五大供应商采购总额占比低，前五大客户营收占比下降，依赖度降低 [38][41] 1.3 研发团队经验丰富，三大业务稳步发展 - 公司拥有三大业务条线、六大系列产品，在清洗和电镀设备建立国产龙头地位，炉管和先进封装产品有布局 [44] - 公司清洗设备技术优势强，研发出多种首创技术，TEBO设备适用于28nm及以下图形晶圆清洗 [46] - 公司核心技术自主研发，形成六大类业务版图，多项在研项目进展顺利，技术成果多 [48][49] - 公司管理层多具技术背景，研发人员经验丰富、学历高，重视股权激励促进发展 [50][54] 2. 半导体设备行业：多重驱动加持，半导体清洗设备前景广阔 2.1 半导体设备是半导体产业链的上游核心 - 半导体设备是产业链上游核心，在芯片制造各环节发挥重要作用，报告研究的具体公司设备覆盖多环节 [55][56] - 全球晶圆产能持续增长，2025年预计新建18个晶圆厂，中国产能增长率居首 [58][60] - 全球半导体设备市场反弹创历史新高，2024年销售额达1171亿美元，中国是增长最大驱动力 [62] - 中国是全球最大半导体设备市场，2024年销售额达496亿美元，占比从34%提升至42% [66] 2.2 下游厂商扩产+芯片技艺进步提振需求，半导体清洗设备高景气持续 - 半导体清洗设备是产业链重要环节，清洗工序占芯片制造工序超30%，约占晶圆制造设备投入7% [69] - 湿法清洗是主流技术，占比超90%，单片清洗设备是湿法主流，需求将随芯片工艺进步增长 [72][74] - 下游晶圆厂扩产和技术进步提振需求，预计2025年全球半导体清洗设备市场规模达69亿美元 [76] 2.3 自主可控政策大力支持，清洗设备行业持续向好 - 报告研究的具体公司终止韩国资产投资，变更资金投入至上海项目，上海产业集群环境好 [79] - 国家和地方出台多项政策支持半导体设备发展，涵盖税收、研发、金融等方面 [80][83] 2.4 先进封装增长动力持久，相应设备需求快速增长 - 先进封装通过改变连接方式提升芯片性能，包括多种封装技术，三大终端市场增长动力持久 [84][86] - 先进封装资本开支预计25 - 26年两位数增长，26年达约137亿美元，设备市场规模预计26年约96亿美元 [86][90] - 先进封装技术对电镀、清洗等设备提出新要求，包括硬件、工艺、兼容性和新清洗需求等 [95][96] 3. 打造清洗设备核心优势，多元布局快速成长 3.1 清洗设备竞争激烈，公司凭借差异化技术占据领先地位 - 半导体清洗设备市场竞争激烈，全球集中度高，2023年CR4达86%，报告研究的具体公司市占率7% [98] - 国内厂商采取差异化路线提升竞争力，报告研究的具体公司凭借技术和平台化布局在国内领先 [98][99] 3.2 公司清洗设备优势明显，可覆盖90%以上清洗步骤 - 报告研究的具体公司2024年清洗设备营收同比增长55%，国内领先，技术可覆盖90% - 95%清洗步骤 [104] - 公司清洗设备技术储备丰富，专利泛用性强，可降低成本，符合节能减排政策 [106][107] - 芯片结构复杂化对清洗设备要求提高，公司计划覆盖超95%工艺应用，2024年募资助力研发 [110][113] 3.3 重视客户导入进展，持续获得批量订单 - 报告研究的具体公司导入国内外知名客户，2009年设备进入SK海力士验证，获国内外领先客户订单 [114] - 截至2024年9月30日，公司在手订单总额67.7亿元，未来有望拓展更多客户 [114] 4. 平台化策略开拓其他设备业务，打造新业务增长极 4.1 公司电镀设备技术储备丰富，国内龙头掌握核心专利 - 半导体电镀广泛采用镀铜设备，报告研究的具体公司全球前道电镀设备市场排第三，掌握核心专利 [115] - 公司在先进封装电镀领域差异化开发，解决难题，实现多种金属层电镀，有密封专利技术 [117] - 公司计划提高电镀设备产能和深宽比，开发新设备，取得核心知识产权并通过验证 [118] 4.2 公司自研立式炉管，相关技术国内领先 - 半导体产业景气度回升带动炉管市场规模扩大，2030年预计达36.8亿美元，CAGR为5.9% [120] - 报告研究的具体公司2018年自研立式炉管，技术专利储备丰富，UltraFn炉管有差异化优势 [122][123] - 公司计划研发多种炉管设备，取得核心知识产权并通过验证，巩固领先地位 [125] 4.3 先进封装设备领域耕耘多年，差异化布局显成效 - 先进封装市场规模保持增长，2030年预计达242.8百万美元，CAGR为3.4% [126] - 报告研究的具体公司在先进封装设备领域技术积累丰富，产品进入多家企业及机构，申请专利超20项 [129] - 公司在先进封装清洗设备方面解决TSV深孔和助焊剂清洗难题，首创无应力抛光助力普及 [130][135] - 公司计划开发先进封装技术的封装设备，提高技术水平，拓展国际市场 [137] 盈利预测与投资建议 盈利预测 - 预计25 - 27年营收增长来自清洗、其他半导体和先进封装湿法设备，各板块营收有相应预测 [138] - 预计25 - 27年毛利率分别为50.0%、50.6%和51.1%，费用率小幅下降 [138] 投资建议 - 预测25 - 27年每股收益分别为3.24、4.04、4.63元，根据可比公司25年42倍PE，对应目标价136.08元，首次覆盖给予买入评级 [2][141]

截至2025年5月底，已有超430家科创板公司推出超760单股权激励计划，板块覆盖率超7成。 "科创板八条"发布即将满一周年，近一年来各项改革举措渐次落地。其中，在实施"提质增效重回报"行 动中，科创板公司披露了研发投入、并购重组、股权激励等计划。 自去年1月，科创板率先实施"提质增效重回报"行动以来，目前已有逾八成公司披露了相关行动方案。 2024年及2025年，披露行动方案的公司分别有470家、479家，其中科创50、科创100成份股公司连续两 年实现全覆盖。 从2025年行动方案来看，科创板公司对并购重组的热情仍在持续升温，多家公司提出将加快推动产业并 购落地。比如，华海诚科（688535.SH）称，2024年以现金收购同行业头部企业衡所华威30%股份， 2025年将通过发行股份、可转换公司债券及支付现金购买衡所华威剩余70%股权。 已完成并购交易的科创板企业，也在推动并购双方从基础的资源整合步入业务合作、技术协同创新的新 阶段。三友医疗（688085.SH）提出，该公司收购的企业水木天蓬，今年2月已100%纳入合并报表，今 年将从业务技术、资产、财务及人员等维度，推进水木天蓬与公司深度融合。 另外，多 ...

本报讯 （记者毛艺融）自去年6月19日中国证监会发布《关于深化科创板改革服务科技创新和新质生产 力发展的八条措施》（以下简称"科创板八条"）以来，各项改革举措渐次落地，政策效应日益显现。 在积极营造良好市场生态方面，"科创板八条"明确，深入实施"提质增效重回报"行动。2024年度及2025 年度，科创板分别有470家、479家公司披露年度"提质增效重回报"行动方案，占比均超八成，科创50、 科创100成份股公司连续两年实现全覆盖。 在专项行动推动下，科创板公司以高质量发展为主线，全面优化经营质效、科技创新能力和投资者回报 政策，丰富企业价值内涵，为资本市场"投科技"注入长期信心。 强化"硬科技"定位 加快培育新质生产力 "科创板八条"将强化科创板"硬科技"定位摆在首要位置。聚焦"硬科技"特色，科创板公司采取务实举 措，加快培育新质生产力。数据显示，2024年科创板全年研发投入总额达到1680.78亿元，最近3年复合 增速达10.7%。研发投入占营业收入比例中位数达12.6%，持续领跑A股各板块。 结合科创板公司"提质增效重回报"2025年度行动方案披露情况看，公司普遍提出，将加大研发投入，推 进新产品研发，推 ...

并购重组则已成为科创企业快速获取技术能力、获得上下游产业链协同支持的重要途径。从2025年行动 方案来看，多家公司提出将加快推动产业并购落地，充分发挥协同效应，促进企业做优做强。例如，华 海诚科表示，2024年公司以现金收购同行业头部企业衡所华威30%股份，2025年将通过发行股份、可转 换公司债券及支付现金购买衡所华威剩余70%股权。本次交易如成功实施，有利于公司突破海外技术垄 断，整合公司研发体系，协同开展半导体封装材料工艺技术的迭代开发，快速取得高端封装材料技术突 破。公开信息显示，该交易目前已获上交所审核受理。 已完成并购交易的科创板企业也在积极推动并购双方从基础的资源整合步入业务合作、技术协同创新的 新阶段。中船特气表示，公司2024年已现金收购淮安派瑞气体100%股权，2025年将围绕提主业优势等 实施并购重组，布局新兴产业，培育新质生产力。三友医疗提出，2024年完成对法国骨科企业Implanet 的收购，2025年2月水木天蓬已100%纳入合并报表，2025年，公司将从业务技术、资产、财务及人员等 维度推进水木天蓬与公司深度融合，依托其超声能量及有源设备领域技术、研发优势，与其他业务协同 发展 ...

募集资金使用计划 - 拟向特定对象发行股票不超过44,129,118股，募集资金总额不超过448,200万元，用于研发和工艺测试平台建设、高端半导体设备迭代研发及补充流动资金 [1] - 募集资金分配：研发和工艺测试平台建设项目拟投入92,234.85万元，高端半导体设备迭代研发项目拟投入225,547.08万元，补充流动资金130,418.07万元 [2][11][23] 研发和工艺测试平台建设项目 - 项目目标：搭建自主工艺测试试验线，模拟晶圆厂环境，配置光刻机、CMP、离子注入机等外购设备及自制设备，缩短研发验证周期 [2][4] - 战略意义：支持"产品平台化"战略，对标国际龙头如Applied Materials，完善研发测试环节布局 [3][4] - 技术基础：公司已拥有1级和1,000级超净间、电镜实验室及缺陷检测设备等硬件设施，研发人员占比46.5%（931人），其中博士18人、硕士461人 [9][10] - 投资计划：总投资94,034.85万元，建设周期4年，分批次完成设备采购与调试 [10] 高端半导体设备迭代研发项目 - 研发方向：聚焦清洗设备、电镀设备、立式炉管设备、涂胶显影设备及PECVD设备的迭代升级，目标达到国际领先水平 [12][15][20] - 市场机遇：全球半导体设备市场2023年规模达1,076.4亿美元，中国大陆连续三年为最大市场（2023年366亿美元） [16][17] - 技术积累：公司拥有470项授权专利（境外294项），核心技术如SAPS兆声波清洗技术获评国际领先 [18][19] - 客户资源：2024年营收同比增长44.48%，在手订单67.65亿元，客户包括国内外主流半导体厂商 [18] 补充流动资金项目 - 用途：缓解业务扩张带来的营运资金压力，优化财务结构，降低资产负债率 [23][26] - 必要性：半导体设备行业资金密集，公司应收账款和存货占用资金随规模增长快速上升 [23] 行业背景与政策支持 - 政策环境：上海将刻蚀机、清洗机等半导体设备列为发展重点，目标2025年实现技术突破 [6][7] - 行业趋势：全球半导体产能2024年预计突破3,000万片/月（200mm当量），驱动设备需求增长 [12][16] - 竞争格局：国际前五大设备商市占率超70%，中国厂商全球份额从2019年1.4%提升至2021年1.7% [13]

纪要涉及的公司 盛美上海 纪要提到的核心观点和论据 1. **一季度经营业绩**：2025年第一季度营收13.06亿元，同比增长41.73%；出货量11.25亿元；毛利润6.64亿元，毛利率50.87%；归母净利润2.46亿元，同比增长207.21%；扣非后归母净利润2.48亿元，同比增长194.14%；剔除股份支付费用后归母净利润2.89亿元，同比增长73.17%；经营活动现金流量净额连续四季度为正；截至一季度末总资产126.38亿元，货币资金等合计29.62亿元，占总资产23.44% [3] 2. **各业务板块表现** - **清洗设备**：一季度单片清洗端口及半关键清洗设备营收同比增长28%至9.2亿元，占总营收70%以上；得益于超声波清洗设备放量和背面清洗设备稳健表现；高温SPM设备通过领先逻辑客户验证，背面边缘刻蚀设备获美国客户验收；预计多个清洗设备迎产品周期；有全面清洗产品组合，计划扩大中国市场份额并拓展全球市场 [2][5] - **电镀技术**：一季度营收同比增长110%至2亿多元，占比近20%；Ultra ECPAP获美国3D封装奖项；是业内首家且唯一采用旋转式水平电镀结构方案供应商；受益于AI芯片封装向面板级封装技术迁移，受多家行业龙头关注 [2][6] - **炉管产品**：立式炉管设备采用独有石英结构设计，具备1250度处理能力，保持晶圆表面平整度，业内尚无厂商能在此温度实现工艺稳定性；LDCVD氧化炉和ALD等炉管系列预计2025年显著放量 [2][7][8] - **先进封装及其他后道处理业务**：一季度营收同比增长60%至1亿多元，占比近10%；处于技术验证和市场拓展阶段；镜面及面板级封装产品按计划推进交付和测试，为AI芯片封装大规模应用打基础 [2][9] - **ETCH和PECVD新产品**：采用自主研发差异化设计，提升工艺灵活性和产出效率；已与多家客户开展样机演示和测试；Track类设备计划2025年中期交付Beta验证机，预计2026年下半年实现更大市场渗透 [2][10] 3. **未来营收增长点**：2025年STM及铝管系列成新增长点；2026年起面板级封装、PCBL等新设备线支撑中长期高增长；围绕中国与国际双引擎战略推进业务，实现30亿美元长期营收目标，中国大陆和海外市场各占一半 [11][12] 4. **临港产能项目进展**：临港盛美半导体研发与制造中心建设接近完成，两栋厂房合计支持约30亿美元年产值规模；第一栋已投入使用，产线产能稳步提升；第二栋完成基础建设作为扩产储备 [4][13] 5. **2025全年业绩预测**：预计年度经营业绩在65亿至71亿人民币之间；核心产品获认可，产能布局有序推进；以差异化技术创新和全球布局支撑长期发展战略 [14] 6. **一季度财务表现**：基本和稀释后每股收益均为0.56元，同比增长211.11%；货币资金等较上季度环比增长1.87亿元；经营性活动现金流量净额持续为正，同比增长2.48亿元；合同负债环比增长11.02%；发出商品17.96亿元，验收后可确认收入 [15][16] 7. **研发投入和成果**：2025年一季度研发投入2.52亿元，占营收19.313%，同比增长23.48%；截至一季度末有982名研发人员，占总人数47.83%；第一季度申请专利100个，获得授权7个，累计483个；推向市场的PCVD设备是P Max版本，一台已出货验证，预计今年谈成2 - 3家意向客户 [17] 8. **电镀设备在3D堆叠技术进展**：ECP3D用于TSV电路，ECPAP用于厚道芯片封装，销售良好；TSV电镀工艺国产化，满足国内客户需求；进入HBM工艺领域，在存储大客户DMC进展顺利 [19] 9. **TSV技术应用情况**：在国内两家龙头企业得到验证并获重复订单，对商业化应用有信心 [20] 10. **高温硫酸应用及优势**：有中低温和超高温类型；太赫兹设备回收率50% - 80%，颗粒质量达单片水平；100 - 110度单片设备被多家客户使用；170度以上高温硫酸清洗设备有专利技术防止硫酸甩出 [24] 11. **减少环境污染和自动清洗技术**：创新在客户端获良好反馈；预计在19纳米、17 - 15纳米小颗粒处理上有显著成果；可控制氛围避免硫酸外泄，实现自动清洗，提高设备性能和可靠性，有推向国际市场潜力 [25][26] 12. **高温炉管设备进展**：推出全球首创超高端高温炉管设备，能达1250度，保持晶圆表面稳定性；缩短IGBT生产氧化层处理时间，提高生产效率；受国内和欧洲客户关注 [27] 13. **ALD炉管设备发展**：两款ALD炉管设备进入国内头部晶圆代工厂；2025年拓展新客户，提升报道覆盖率；有独特气道设计和单片调研理念，满足客户端关键性能指标需求 [28] 14. **海外业务发展及规划**：长期目标30亿美元营收，大陆与海外市场各占一半；开发差异化产品，有自主知识产权，可进入国际市场；已在韩国设研发实验室，计划在美国建生产基地；独特技术受海外客户关注 [29] 15. **新型平板水平旋转封装设备**：全球首创，水平式旋转设计提高电力传输效率；采用PECVD工艺，降低内部电容，提升整体性能；填补行业空白，为先进封装提供新方案 [30] 16. **技术创新成果**：3月在美国3DIC Inside获大奖，适用于未来平板AI工艺；核心产品水平电镀设备应用前景大；坚持差异化和知识产权保护，为全球客户提供创新设备 [31] 17. **海外市场情况**：销售主要来自国内，海外市场逐步有成果；预计今年几台设备销往美国、东南亚和中国台湾地区；5月已售四台先进封装设备到美国 [33] 18. **PECVD设备情况**：去年三季度发出的第一台正在客户端验证，效果不错；今年预计三家客户接收，一台6月左右交付；认为今年是进入市场的一年，差异化特点使工艺具优势 [33] 19. **并购整合看法及计划**：半导体设备制造商并购是趋势；寻找有独立IP和核心技术的目标公司；现有技术支撑自身成长，大部分资金用于现有设备开发，遇好公司或技术会考虑并购 [34][35] 20. **未来发展方向**：推进国产化DocCheck项目和检测设备推出，提高国产化比例，支持AI芯片大芯片封装趋势；20% - 28%资金投入现有项目开发；遇好公司或技术考虑并购提升竞争力 [36] 其他重要但是可能被忽略的内容 1. **TSV电路孔径挑战**：TSV电路中较大孔径（超100）比小孔更难处理，高密度HBM应用使用较小晶圆级封装问题不大 [21] 2. **TSV工艺设备和耗材国产化**：国内TSV工艺客户从2020年要求全国产化，目前设备和耗材已实现国产化 [22] 3. **2025年新签订单展望**：今年销售预计无太多改变，第二季度采购节奏正常，9月30号给出订单信息保持稳定 [23]