半导体设备国产替代趋势 - 看好自主可控趋势下设备及零部件国产替代加速 先进逻辑和存储厂商持续扩产叠加先进制程设备突破放量将带动半导体设备及零部件需求上升 [1] - 国产半导体设备商开启平台化布局 通过拓宽产品种类打造一体化解决方案 [1] - 半导体设备国产化率仍有较大空间 差异化竞争策略使国产替代逻辑持续生效 [1] - AI芯片浪潮推动下游封测设备需求 测试设备国产化进程顺利有望实现替代放量 [1] 半导体材料设备指数及ETF产品 - 半导体设备ETF(159516)跟踪半导体材料设备指数(931743) 成分股涵盖半导体材料和设备制造领域上市公司 [1] - 指数成分股具有高成长性和高技术壁垒特征 行业配置集中于晶圆制造设备 测试设备和光刻胶等上游核心环节 [1] - 无股票账户投资者可关注国泰中证半导体材料设备主题ETF发起联接A(019632)和C类份额(019633) [1] 行业数据来源 - 行业观点和数据来源于每日经济新闻 [3]

公司概况 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司科创板IPO获受理 向A股市场发起冲击 [1] - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主营等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等产品的研发、生产、销售及技术服务 [1] - 公司围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案 并引进真空获得和流体控制等相关核心零部件 [1] 股权结构 - 发行前乐卫平直接持有公司23.0866%股份表决权 并通过恒运昌投资、投资中心、投资发展中心间接控制25.8179%、20.7787%和3.1895%股份表决权 合计控制72.8727%股份表决权 [1] - 乐卫平长期担任公司董事长和总经理 [1] 融资与估值 - 公司最近一次市场化融资完成于2023年12月 投后估值为32.92亿元 [1] 财务表现 - 2024年公司实现营业收入5.41亿元 归属净利润1.43亿元 [1] - 亮丽业绩背后主要依赖大客户拓荆科技的支持 [1] 客户集中度 - 报告期内前五大客户合计营业收入占比分别为73.54%、80.39%及90.62% 客户集中度较高 [2] - 向拓荆科技销售收入分别为7153.8万元、18918.04万元及34142.26万元 占营业收入比重分别为45.23%、58.16%及63.13% [2] - 2023年及2024年向第一大客户拓荆科技的销售比例超过50% 且依赖度持续升温 [2]

核心观点 - ASML通过极紫外(EUV)光刻技术推动芯片制造工艺进步，最新EUV光刻机可打印8纳米线距的芯片图案，并计划通过高数值孔径(High-NA)和Hyper-NA技术进一步提升精度和效率[6][7] - 阿姆斯特丹纳米光刻高级研究中心(ARCNL)与ASML深度合作，专注于EUV技术基础研究，包括光源优化、反射镜涂层改进等，每年获得ASML约400万欧元资助[2][4] - EUV光刻机通过每秒引爆5万次锡滴产生等离子体发射13.5纳米波长光，ASML计划将频率提升至6万次/秒并将功率从500瓦增至1000瓦，同时降低能耗[1][8][9] - 行业面临物理极限挑战，芯片元件尺寸缩小速度从每代70%降至20%，但通过3D堆叠等创新仍可提升晶体管密度[6] - ASML探索多种技术路径包括更短波长(6.7/4.4纳米)、更大掩模版、自由电子激光器等替代方案，但成本效益仍是关键考量[14][16][21] 技术进展 光源优化 - 采用"披萨"状锡滴粉碎技术，通过额外激光轻击产生微滴提升EUV光产出效率，计划引入固体激光器降低能耗[9] - 当前EUV系统功率500瓦，目标提升至1000瓦，预计2033年单晶圆能耗比2018年降低80%[8] - 研究钆替代锡作为6.7纳米波长光源材料，但更短波长面临光子能量分布不均导致的随机噪声问题[14][15] 光学系统 - 高数值孔径(High-NA)设备将开角从0.33提升至0.55，需1米直径反射镜；Hyper-NA目标0.75开角，可通过调整镜片位置实现[7] - 反射镜采用70层钼/硅交替涂层，反射率达71%接近理论极限75%，通过"磁控溅射"技术实现10纳米级精密堆叠[11] - 解决EUV功率提升导致反射镜气泡问题的秘密材料配方已研发成功[12] 制造工艺 - High-NA光刻机采用掩模版放大技术导致曝光时间延长，通过32G加速度扫描补偿，目标进一步提升速度[17] - AI芯片设计规模超出单掩模版容量，需多部分投影拼接，或推动行业采用更大尺寸掩模版标准[17] - EUV光被用于纳米结构测量，光声学技术可通过声波实现芯片三维结构检测[19] 行业生态 - ASML年研发投入超40亿欧元，与蔡司、ARCNL、多所大学形成完整研发生态系统[4][7] - ARCNL约75%博士毕业生加入ASML，延续类似飞利浦NatLab的基础研究模式但避免被商业目标束缚[4][5] - 中国尝试自主研发EUV技术，华为研究等离子体源，可能采用自由电子激光器作为替代方案[22]

全球半导体设备市场概况 - 2025年第一季度全球半导体设备出货金额同比增长21%至3205亿美元 环比下降5% [1] - 各地区表现分化：中国大陆同比降18%至1026亿美元仍为最大市场 韩国同比增48%至769亿美元 中国台湾同比暴增203%至709亿美元 [3][5][8] - 中国大陆市场份额从去年同期47%萎缩至32% 韩国超越中国台湾成为全球第二大市场 [5][8] 区域市场深度分析 韩国市场 - 存储芯片复苏驱动设备需求：三星/SK海力士启动"产能补库存" HBM产能爆发带动设备订单激增 [8] - 政策支持显著："K-半导体战略"提供30%税收抵免 2025年对三星/SK海力士补贴超50亿美元 [9] - ASML在韩国市场营收占比达40% 单季交付23台High-NA EUV光刻机占全球出货量58% [8] 中国台湾市场 - 台积电扩产为核心驱动力：3nm产能提升25%至每月10万片 2nm试产线启动采购单价35-38亿美元EUV光刻机 [11] - 先进封装爆发：CoWoS产能计划从35万片/月提升至65-75万片/月 联电同步布局FOWLP封装 [13] - 产业集群效应显著：设计-制造-封测全产业链协同提升设备交付效率 [14] 北美市场 - 英特尔"脉冲式扩产"特征明显：18A制程采购推高2024Q4设备支出 2025Q1环比降41%但同比增55% [15] - CHIPS法案补贴推动本土化：亚利桑那工厂设备采购额同比增70% Foveros 3D封装设备需求增80% [15] 日本市场 - 同比增20%主要源于Rapidus 2nm试产线及台积电熊本工厂设备采购 [18] - 环比降18%受季节性波动及中国春节供应链停工影响 [18] 欧洲市场 - 同比暴跌54%至87亿美元 产业空心化问题严重：14nm以下产能占比不足5% 设备市占率低于10% [20][22] - 《芯片法案》执行不力：拨款仅占计划10% 英特尔德国工厂延期 [21] 中国大陆市场挑战与机遇 - 国产设备进展：北方华创全球排名第6 28nm设备替代率超40% 但7nm以下仍待突破 [27][34] - 技术封锁影响：ASML对华EUV光刻机出货停滞 14nm以下刻蚀机/薄膜设备销售占比大幅下降 [25] - 长期战略：中微公司称零部件自主可控率已达90% 电子束检测/离子注入设备为待突破难点 [34] 行业周期判断 - 2025Q1环比回调5%属季节性波动 全年仍处增长轨道 SEMI预测2025年晶圆厂设备支出达1100亿美元 [35][38] - 结构性分化明显：AI驱动HBM/先进制程需求旺盛 成熟制程面临产能过剩压力 [36][37] - 预计2025H2进入扩张期：全球晶圆厂产能环比增7% 5nm以下先进节点占比提升 [36][38]

公司IPO与募资计划 - 恒运昌科创板IPO获受理 保荐机构为中信证券 保荐代表人为王纯然和曹阳 会计师事务所为天健会计师事务所 [3] - 公司成立于2013年 注册资本5077万元 主营业务为半导体设备核心零部件供应 [3] - 本次拟募资15.5亿元 用于沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目 半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目及补充流动资金 [3] 财务业绩 - 2022年至2024年营业收入分别为1.58亿元 3.25亿元和5.41亿元 呈现快速增长趋势 [3] - 同期扣非归母净利润分别为1981.36万元 6924.23万元和1.31亿元 增速显著 [3] - 主营业务毛利率持续提升 从2022年的41.65%增至2024年的48.71% [3] 股权结构与实控人 - 实控人乐卫平直接持有23.09%股份表决权 并通过三家投资机构间接控制72.87%股份表决权 [4] - 乐卫平现任公司董事长兼总经理 1973年出生 研究生学历 [5] 实控人职业背景 - 乐卫平早期在湖南省桃源县邮电局电信设备厂担任技术员和工程师 [5] - 2003-2006年任职于AE(深圳) 担任测试技术员和工程师 [7] - 2006-2014年任职于AE(上海) 担任产品应用工程师与销售高级经理 [7] - AE为全球领先的等离子体射频电源系统供应商 总部位于美国科罗拉多州 [7]

报告行业投资评级 - 机械行业投资评级为买入（维持）[1] 报告的核心观点 - 2025年人形机器人量产将带动产业链放量，解决数据匮乏难题，推动其向更实用阶段发展，看好该产业并给出相关关注建议[7] - 机床&刀具、农业机械、工程机械、轨交设备、半导体设备、新能源设备、低空经济及EVTOL等行业各有发展态势和投资机会，分别给出关注建议[8][9][14][15][17][19][21] 各目录总结 重点子行业观点 人形机器人 - 6月11日南京召开智能机器人产业发展大会，29家企业携40余款机器人亮相，埃斯顿酷卓科技发布第二代人形机器人Codroid 02，展示其工业场景覆盖能力[2] 服务机器人 - 6月10日普渡机器人第10万台机器人下线，累计出货达10万台，最新产品PUDU CC1 Pro标志商用清洁机器人迈入AI时代，该公司产品体系丰富[3] 机器人产业新进入者 - 6月8日阿尔特汽车进军机器人产业，其投资的阿尔瑞特已完成注册，将提供定制化解决方案，启动多个项目研发[3] 机器人企业融资 - 6月4日「加速进化」完成超亿元A轮融资，6月6日本末科技完成数亿元B轮及B+轮融资，资金用于产品迭代等[4][5] 政策支持 - 6月9日北京市五部门印发方案，鼓励机器人在多场景首试首用，拓展后服务市场[4] 各行业分析 机床&刀具 - 2025年4月日本机床订单金额同比增7.7%，内需降、外需升，对华订单同比升27.9%；1 - 4月我国金属切削机床产量同比增16.8%，建议关注相关企业[8] 农业机械 - 2025年5月中国农机市场景气指数环比降4.4个百分点、同比升1.0个百分点，6个一级指数环比全下滑、同比多数上升；6月3日小麦收购价环比降0.41%、玉米收购价环比涨0.27%；1 - 4月大、中、小型拖拉机产量有不同变化；看好需求长期提升和出口增长，建议关注一拖股份[9][10] 机械出海 - 美国补库方面，关税下调使美国衰退风险下降，4月中国出口电动工具和OPE金额同比增长，建议关注相关工具类企业；一带一路方面，铜矿情况带动矿山机械出海，4月中国矿山机械出口额同比增长20.9%，建议关注相关矿山设备企业[13] 工程机械 - 2025年5月挖掘机销量同比增2.1%，国内降、出口升，预计基建投资维持高景气，行业需求有望边际修复，建议关注工程机械龙头[14] 叉车 - 2025年4月叉车出口销量维持增长趋势，电动化、国际化为增量来源，建议关注相关企业[14] 轨交设备 - 2024年国铁集团招标动车组相关数据同比大幅增长，2025年1 - 5月全国铁路固定资产投资同比增5.9%，假期客流增长，轨交设备行业将受益，建议关注相关企业[15][16] 半导体设备 - 对等关税实施后关键设备国产替代加速，大基金三期推动半导体产业发展，建议关注相关企业[17][18] 新能源设备 - 隆基绿能和天合光能取得光伏技术突破，巴基斯坦拟对进口太阳能电池板征税，光伏电池片产能加速出清，建议关注相关企业[19][20] 低空经济及EVTOL - 南宁出台措施推动低空经济发展，芜湖腾盾航空科技D18无人机总装产线投产，低空经济发展有望提速，建议关注相关企业[21][22] 重点数据跟踪 通用自动化 - 2025年5月PMI指数环比上涨（49.5%），全部工业品PPI指数同比 - 3.3%；1 - 5月制造业固定资产投资额累计同比 + 8.5%；1 - 4月金属切削机床产量累计同比 + 16.8%；4月工业机器人当月产量同比 + 51.5%；4月日本机床对华订单同比 + 28%[30][32][34] 工程机械 - 基建投资有所反弹，地产投资景气仍处低位；2025年5月房屋新开工面积累计同比下滑22.8%；挖掘机相关销量及开工小时数有相应变化；5月美国CPI同比 + 2.4%，中国CPI同比 - 0.1%[41][58] 锂电设备 - 2025年5月新能源汽车销量当月值130.7万辆，当月同比 + 37%；动力电池装车量当月57.1GWh，当月同比 + 43.1%[62][68]

半导体产业链发展 - 半导体产业链从设计到制造、设备到零部件缺一不可，技术进步使1TB储存芯片从60年前需800万栋5层大楼容纳到如今微型化[1] - 器件结构从2D到3D转换推动等离子体刻蚀和薄膜制程成为核心步骤，市场需求大幅增加[1] 中微公司产品与技术 - 主营产品等离子体刻蚀设备和薄膜设备是光刻设备外核心微观加工设备，制程复杂度与工艺开发难度业内领先[2] - 刻蚀设备通过"二重模板"和"四重模板"工艺技术加工先进微观结构，市场需求提升带动公司高速成长[2] - 量检测设备市场占半导体前道设备总市场13%，公司通过设立超微公司布局电子束量检测设备[2] - 刻蚀设备已覆盖国内绝大多数应用，薄膜设备覆盖度持续扩大，量检测设备全面布局[2] - 首创甚高频去耦合反应离子刻蚀技术(D-RIE)引领国际巨头跟随，奠定领先地位[3] - 独创"双反应台"设计，刻蚀速度精准至0.1-0.2纳米水平，设备应用于5纳米及更先进产线[3] 技术创新与差异化战略 - 坚持不抄袭国际标配设备，综合竞品优点开发更优产品，刻蚀设备近五年营收年均增速超50%[4] - 实施三维发展、有机生长和外延扩展战略，贯彻"五个十大"确保高质量发展[4] 知识产权与市场认可 - 国外主流厂商多次发起专利诉讼，公司在四次重大诉讼中两胜两和解[5] - 截至2025年3月，累计申请专利2941项(发明专利占比83%)，构建完整专利覆盖体系[5] - 2025年TechInsights评选中获六大奖项，WFE基础芯片制造商和薄膜沉积设备榜单位列第一[6] 市场目标 - 当前产品覆盖30%集成电路前道设备，计划5-10年内覆盖60%以上高端设备市场[6] - 2035年目标成为全球第一梯队半导体设备平台型公司[6]

本期导读： 5月，上市公司参与出资基金的平均规模相较4月有大幅度提升，但总出资规模及出资次数有所下 降。 投资集中在信息技术、医疗健康、工业等领域。 作者丨FOFWEEKLY 本期推荐阅读5分钟 上市公司出资详情如下： 8月 7月 8月 10月 - 11月 2月 3月 4月 5月 9月 12月 1月 2024年 2025年 出资规模(亿元) -- 出资次数 5月份,上交所、深交所共有29家上市公司(含子公司)对私募股权基金进行了出资 共投向26支基金,出资笔数共计29笔,已披露金额的出资额合计42.56亿元,平均单笔 出资额1.47亿元。 近一年出资基金的平均规模 25.00 20.00 15.00 14.9 10.00 103 5.00 2.98 0.00 2月 3月 4月 5月 ୧用 7月 8月 9月 10月 11月 12月 1月 2025年 2024年 5月参与出资基金的平均规模相较前三个月有大幅度提升。 投资领域分布广泛,但偏好仍明显。集中于信息技术、医疗健康、半导体设备、工业制 造等方向。 国资与非国资出资情况 પે ટે 80.00 40 70.00 35 60.00 30 50.00 25 40 ...

核心观点 报告对2025年6月12 - 13日的市场情况进行观察分析，指出沪深指数窄幅震荡、成交量温和变化，行业结构有明显变化，部分冷门行业大市值公司涨幅明显，创新药等行业龙头上涨有持续性；还涵盖资金流向、消息面、行业及基金动态等内容[1][2] 市场回顾 - 6月12日市场全天窄幅震荡，三大指数涨跌不一，沪指涨0.01%，深成指跌0.11%，创业板指涨0.26% [2] 资金面 - 6月12日上证净流入56.15亿元，深证净流入58.75亿元 [4] - 行业板块方面，主力资金流入前三为通信设备、汽车零部件、化学制药，流出排名前三为白酒、电力、半导体 [4] 消息面 - 国家发改委副主任李春临表示支持符合条件的香港联合交易所上市公司在深交所发行上市存托凭证，允许符合条件的粤港澳大湾区企业在深交所上市 [5] - 蚂蚁国际回应在香港申请稳定币牌照，称法案8月1日生效、相关通道开启后尽快提交申请 [5] - 自2025年6月12日起，印尼公民可适用240小时过境免签政策，中国该政策适用国家增至55国 [6][7] 行业动态 - 抖音电商全面开放新商家0元入驻，大幅降低保证金门槛，新规执行后商家保证金账户超额部分可每周提现一次 [8] - 集邦咨询预计2025年全球晶圆代工产业年增长率达19.1%，2nm今年下半年量产，先进封装产能预计年增长76% [9][10] - 深圳已累计开通无人机航线近300条，完成载货飞行170多万架次 [10] 基金动态 - 截至5月31日，今年以来百亿级私募旗下产品平均收益超7%，正收益占比超九成，5月有业绩展示的50家百亿级私募平均收益达2.73%，48家机构实现正收益 [11][12] - 截至5月底，科创板指数达29条，80只科创板ETF上市，总规模超2500亿元，“科创板八条”发布以来总规模增长近60% [12]

报告核心观点 报告对国内金融市场进行分析，涵盖股指期货表现、宏观消息、行业动态、上市公司情况、市场回顾及展望等内容 ，指出市场短期或回撤整理但中期看涨，需关注政策、谈判及数据情况 [8] 国内金融市场 股指期货 - 上证指数收盘3402.66，涨0.01%；深证成指收盘10234.33，跌0.11%；创业板指收盘2067.15，涨0.26%；上证当月连续收盘2682.2，涨0.02%；沪深当月连续收盘3883.6，涨0.06%；恒生期货指数收盘31013.11，跌1.2% [3] 宏观消息汇总 政策动态 - 央行、外汇局加大金融支持海峡两岸融合发展力度，为示范区建设提供金融支撑 [5] - 工信部支持整车企业践行“支付账期不超过60天”承诺，提升产业链供应链韧性和安全水平 [5] - 发改委副主任称深圳综合改革试点新举措注重多领域改革协同联动 [5] 行业最新动态 行业会议与政策利好 - 固态电池大会下周举行，行业迈入量产前夜，相关个股有宏工科技、国轩高科等 [6] - 生物制造迎政策利好，两部门推动中试平台建设，相关个股有华熙生物、川宁生物等 [6] 市场增长 - 稳定币市场规模高速增长，跨境支付应用场景活跃度攀升，相关个股有新大陆、东信和平等 [6] 上市公司聚焦 公司成就 - 矽电股份是国内首家实现12吋晶圆探针台产业化应用的设备厂商 [7] - 南极光是目前唯一通过任天堂认证的LCD背光模组供应商，在Switch 2背光模组中供应商地位稳固 [7] - 金现代的轻骑兵低代码开发平台已适配DeepSeek大模型 [7] 公司收购 - 兰石重装全资子公司拟9998.21万元收购青岛装备100%股权，提升核能装备制造能力 [7] 市场回顾及展望 市场表现 - 6月12日市场小幅低开，全天震荡，午后跳水尾盘回升，上证指数微涨0.01%报收3402点，沪深两市成交额1.27万亿，较上个交易日放量163亿 [8] 板块表现 - 涨幅靠前的是贵金属、美容护理等板块，创新药概念、稀土永磁板块活跃，AI算力板块震荡走高，午后黄金股异动，新消费概念回暖 [8] - 跌幅居前的是航运港口、酿酒行业等板块，权重方面保险、银行上涨约1%，证券冲高受阻回落 [8] 技术面分析 - 指数收于5日均线之上，但上涨动力不足，上证指数日线及分钟线级别存在背离结构，短期量能不济，市场可能再次回撤箱体下沿蓄势整理，但周线和月线处于相对低位，中期看涨 [8] 关注要点与操作建议 - 近期需关注陆家嘴论坛政策力度、中美经贸谈判进展及6月PMI数据情况，操作上中线仓位顺势持有，短线仓位等待市场变盘信号 [8]